測量

范圍

Z軸（垂直）

200μm

X軸（水平）

15mm

分辨率

Z軸

（垂直）

0．01μm/±20μm

0．02μm/±40μm

0．04μm/±80μm

測量

項目

參數(shù)

Ra、Rq、Rsm、Rsk、Rz、Rt、Rp、Rv、Rc、Rco

標準

ISO,ANSI,DIN,JIS

圖形

支承率曲線，粗糙度輪廓，直接輪廓

濾波器

GAUSS濾波器

取樣長度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

評定長度（ln）

Ln= lr×n    n=1~5

傳感器

測量原理

位移式差動電感式

觸針

天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑

測力

<4mN

導頭

硬質(zhì)合金，滑行方向半徑45mm

滑行速度

lr=0.25,   Vt=0.135mm/s

lr=0.8,    Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,    Vt=1mm/s

測量范圍

Ra,Rq

0.005μm  ~  16μm

Rz,R3z,Ry,Rt,Rp,Rm

0.02μm  ~  160μm

示值誤差

不大于±10%  精度：10%

示值變動性

不大于6%

電源

內(nèi)置鋰離子充電電池，用DC5V,800mA充電器充電

外形尺寸

158x63.5x46mm

重量

約300g

工作環(huán)境

溫度：- 20℃ ~  40℃     濕度：< 90% RH

儲存運輸環(huán)境

溫度：- 40℃  ~   60℃   濕度：< 90% RH